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ITO湿法表面粗化提高大功率LED芯片外量子效率
2009/12/30 16:59:06  本站原创
 <p>本文采用浓H2SO4对ITO表面进行粗化,比较不同腐蚀温度及腐蚀时间对ITO表面形貌影响,利用AFM及SEM对ITO表面进行表征,制作45mil LED芯片,得出经过粗化后的芯片亮度增加可达10%以上。</p>
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